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Imec建洁净厂房 比利时弗拉芒政府鼎力支持
录入时间:2012-7-17
近日,Imec宣布将计划在比利时勒芬晶圆厂建造一间造价达1亿欧元的洁净生产车间,这也是Imec进军450mm晶圆所作出的第一步,据悉该投资项目也得到了比利时弗拉芒政府的支持。

       根据Imec公布的信息,Imec计划将在未来的五年时间内,共投资10亿欧元用于扩充450mm晶圆厂的洁净室厂房建设。目前公司在与欧盟委员会以及Imec的合作伙伴进行磋商洽谈,这些合作伙伴大多来自于晶圆厂、无晶厂、设备厂以及材料供应商。据透露,这家比利时厂为了继续保持在半导体工艺以及技术领域内的领先地位,因此该公司就决定将目前300mm洁净室车间转换成450mm。

       Imec总裁兼CEO Luc Van den hove对此说道,我们非常感谢当地政府给予我们这样的一种支持和帮助,就在此前,Imec就宣布与美国KLA-Tencor公司达成协议,将在全新的450mm洁净室车间内安装450mm晶圆片自动缺陷检测系统。另外Luc Van den hove还指出,此套晶圆检测系统对于10nm以下技术节点的检测至关重要。

      
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