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三星14纳米EUV DDR5 DRAM正式量产
韩国首尔2021年10月12日 /美通社/ -- 今日,三星宣布已开始量产基于极紫外光(EUV)技术的14纳米(nm)DRAM。继去年3月三星推出首款EUV DRAM后,又将EUV层数增加至5层,为其DDR5解决方案提供当下更为优质、先进的DRAM工艺。
三星首款14纳米DRAM
三星首款14纳米DRAM
“通过开拓关键的图案(key patterning)技术,三星活跃全球DRAM市场近三十年。”三星电子高级副总裁兼DRAM产品与技术主管Jooyoung Lee表示,“如今,三星正通过多层EUV技术,树立了一座新的技术里程碑,实现了更加微型化的14纳米工艺,而这也是传统氟化氩(ArF)工艺无法做到的。在此基础上,三星将继续提供极具差异化的内存解决方案,充分满足5G、人工智能和元宇宙等数据驱动的时代对更高性能和更大容量的需求。”
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