苏州工业园MEMS中试量产平台运行良好

苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司负责的MEMS中试量产平台目前运行良好，6寸片年出货量在全国代工线中名列前茅。 

MEMS制造环节门槛高、技术含量高，是制约中国MEMS产业发展的瓶颈，也是从实验室到可销售产品的最核心的支撑环节。为构建“研发——中试——规模生产”完整的MEMS产业链链，加快MEMS企业创新和规模化成长过程，2013年，苏州纳米科技发展有限公司代表苏州工业园区管委会，策划筹建了苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司MEMS中试量产平台。

平台得到了工信部等各级政府支持，以支撑苏州工业园区及中国MEMS产业发展为主要使命，完全按照代工模式建立，服务于各类企业、科研院所、研发机构、创业团队，提供研发支持、代工服务，全开放、市场化运营，从根本上解决MEMS设计企业产品化的难题。

平台2014年首颗产品通线，2017年真正实现量产，经过多年的努力，形成了一支完整的高水平技术团队，积累了国内种类最多的MEMS产品量产经验，申请了60多项发明专利，已成为国内工艺种类最全、部分工艺能力最强的MEMS代工线。另外，平台与日本爱发科签署战略合作协议，共同开发下一代MEMS关键技术——PZT压电薄膜MEMS传感器，成为国内首个可量产PZT MEMS器件的产线，为国内企业抢抓下一代MEMS产品先机提供了坚实的基础。在此基础上，平台建设了8英寸线，更好地支撑国内MEMS产业发展。

                 （ 来源：中国电子报、电子信息产业网）