据悉，Pfeiffer Vacuum公司于近日发布了一款用于半导体产业的灵活集成型100L节能干泵，该设备同时也完全可在洁净室厂房内使用。

该公司发言人称，这台节能多级干泵适用于如负载锁定室、传送室以及无腐蚀性领域的应用。尽管小型的泵能提供高的泵送速度和停泵所需要的时间，根据该公司的对泵体的设计研发， A 100 L ES型号的干泵能比同类产品实现50%的节能，在低压状态下，该泵的泵送时间仍旧维持在一个较高的水平，另外的一些特性还包括较低的最终压力和降低噪声水平。除了降低能耗，一台100 L ES终压降低至7x10^-4 mbar（hPa）。