中科新松百级洁净室--

助力半导体线边物流机器人产品快速优化迭代　

半导体器件的生产对生产环境要求很严，涉及数百个制造工序，对生产环境，如温度、湿度，洁净度都有严格要求。半导体器件，尤其是高密度的集成电路，易受到各种污染的损害。半导体器件对污染的敏感度取决于较小的特征图形的尺寸和晶片表面沉积层的薄度。空气中充满着尘埃，虽然细小到肉眼不可见，但这些尘埃对于每个晶体管的体积就属于较大颗粒，如若这些微粒黏附在制作半导体的晶圆上，可能会影响其精密的导线布局，破坏半导体器件的导电性能，造成电性短路或断路。因此要保证半导体生产的良品率，必须要保证其生产环境的洁净度。

　中科新松百级洁净室

日前，在位于浦东临港的新松机器人制造基地内，刚刚落成的百级洁净室已经投入到半导体生产环境的相关测试工作中。该洁净室按照半导体生产环境百级（Class5）洁净等级搭建，配合专用仪器，可以直接在新松生产基地完成半导体智能化生产过程中所使用的运动部件的相关测试工作，极大地加速了中科新松相关产品的优化迭代速度。

中科新松百级洁净室

　　迄今为止，中科新松自主研发和生产了多种适用于半导体线边物流的核心机器人产品，包括ARV、OHS、OHT、RGV、Stocker、AMR、Lift等，所有产品按照SEMI认证的标准进行设计，满足SEMI S2、SEMI S8、SEMI S17中的ESD、EMC、CLASS 5等认证要求。此外，依托于核心半导体线边物流组件，针对不同的半导体生产工艺流程，中科新松构建了众多的线边物流自动化系统（AMHS）。在方案设计实施上，中科新松充分发掘客户现场的有限使用空间，实现地面、空中一体化解决方案，为客户创造更大的价值。目前中科已经与多家国际知名半导体企业达成合作并交付实施了数百台智能化机器人设备，相关产品出口东南亚等多个国家。

关于中科新松

　　中科新松有限公司是新松机器人集团在上海设立的国际总部，是新松集团“2+N+M”战略布局中两大总部机构之一，致力于打造一个国际化的、平台化的、创新的机器人行业标杆。

　　公司业务包括多可®协作机器人及新松®智慧工厂。

　　多可®协作机器人聚焦于协作机器人系列化产品的自主研发和生产，构建了基于DUCO COBOT协作机器人、DUCO AMR智能移动机器人、DUCO Mind智能应用控制器、DUCO Core操作系统和DUCO Cloud云平台技术的产品服务体系。产品通过CE和SEMI认证，凭借智能、安全、稳定等特点，广泛应用于汽车、能源，半导体，3C，食品药品，教育科研等多个行业，产品出口东南亚、北美、欧洲等数十个国家与地区，品牌影响力享誉全球。

　　新松®智慧工厂，运用新松丰富的机器人产品以及强大的机器人系统技术，为客户提供集核心制造技术开发、工艺流程研究及系统规划于一体的数字化工厂自动化系统解决方案的设计与实施。

　　中科新松被工信部认定为国家级“专精特新”小巨人企业、成为协作机器人细分领域的“隐形冠军”，荣获“高新技术企业”、上海市“专精特新”企业，上海市企业技术中心、上海市专利工作试点优秀单位，浦东新区企业研发机构等称号，入选《上海市第一批智能制造解决方案供应商推荐目录》，获得上海市科技进步一等奖、上海市五一劳动奖状等殊荣。