洁净室自控系统设计

  项目采用直接数字式监控系统（DDC系统）控制，主要内容包括：新风机组、洁净区干盘管、空调水系统、制冷主机、水泵、热交换器等设备的控制。新风机组主要控制送风温度、送风压力；洁净区干盘管主要控制室内温湿度；空调水系统主要控制冷冻水流量。　　

 1）新风机组、洁净区干盘管的控制。

①送风温度的控制。送风温度控制系统由设在送风管上的温度传感器、DDC控制器和电动调节阀组成。当负荷改变时，DDC控制器根据温度传感器的信号控制盘管出水管上的电动调节阀的开度以恒定送风温度。

②室内温湿度控制。洁净区室内安装24台干式盘管表冷器（DCC），共分为5个区域进行控制，每个区域安装一台电动调节阀，DDC控制器根据房间温度传感器的信号调节干盘管表冷器水流量，以实现温度控制。若完全关闭了冷冻水电动调节阀仍不能满足温度要求，则开启MAU电加热段来实现温度控制。 在夏季需要除湿的工况下，通过调节盘管表冷器进水管上的电动调节阀的开度，来实现湿度控制；在冬季需要加湿的工况下，通过DDC控制器控制电极式加湿器开关，达到湿度调节目的。

③洁净室空气压差控制。本项目洁净室为正压洁净室。不同洁净度房间必须保持一定的压力梯度。即必须保持一定的压差。当洁净室的送入风量与排出风量+压差风量（余风量）之间达到平衡便建立压差。

这里的排出风量包括需排往室外的排风量及回风量。对直流系统的新风量=排风量+压差风量，对循环系统的新风量+回风量=回风量+排风量+压差风量。所以归根到底，压差的实质是:新风量=排风量+压差。 

压差控制时为了保证洁净室换气次数和排风除尘效果，尽量不改变送风机组和排风机组风量。由于本系统有足够的剩余风量，所以主要通过各房间余压阀泄压来保证微压差（正压）的恒定。 

运行中在主要工艺房间设置直读式压差表；并定期更换三级过滤系统中的初、中、高效过滤器及定期检查余压阀状态。 

2）空调水系统的控制。冷冻水流量控制原理：本项目采用百分比特性电动压差旁通阀门控制，就是对冷冻水的旁通流量进行浮点式（PID调节）控制，以实现高精度可靠控制。排除了线性调节方式存在的缺陷。即通过PID控制器检测冷冻水供回水的压差，来实时调节旁通阀门的开度，从而使管网压力达到平衡。通过压差旁通控制可保证冷冻水流量平衡，从而保证负荷侧的变流量。 

    3）制冷主机、水泵、热交换器的控制。制冷主机、新风机组、冷水循环泵、热交换器等设备采用直接数字式控制系统DDC控制，它由中央电脑及终端设备加上若干DDC模块组成，在空调控制中心能显示并自动打印净化空调通风设备的运行状态及各主要运行参数，以便进行集中监控。进入DDC系统的空调通风设备不仅能在控制中心启停（远程控制），还能就地启停并能切断电源进行检修（就地/现场控制），所有设备均有手动及DDC自动控制的转换开关，当此开关处于手动控制状态时，DDC系统只能监视设备运行状态，而不能控制。