世界各國潔淨度等級比照表

國 名

美 國

美 國

日 本

英 國

德 國

規 格

FS 209D

FS 209E

JIS B 9920

BS 5295

VDI 2083

年 度

1988

1992

1989

1989

1990

粒子基準

0.5 um

0.5 um

0.1 um

0.5 um

1 um

單 位

pcs/ft³

pcs/m³

pcs/m³

pcs/m³

pcs/m³

等 級

-

-

1

-

-

-

M 1

2

-

0

1

M1.5

3

C

1

10

M2.5

4

D

2

100

M3.5

5

E~F

3

1,000

M4.5

6

G~H

4

10,000

M5.5

7

I

5

100,000

M6.5

8

J

6

-

M 7

-

K

7

-

-

-

L

8