作者：Don Wadkins

      十年前，几乎每一期洁净室出版物或有关高科技建设的科技期刊都会讲到洁净建筑。可现在不是了。这一切是否只属于过去，这种状态是否已远离我们？

      事实并非如此。虽然我们并不经常听到它，这主要是因为在美国，至少兴建新的半导体晶圆厂已经难得一见。而这是CCP应用最多的地方。|||但是，在大多数需要用到它的工程中，CCP还是有被用到的。这包括众多的纳米科学中心，例如由联邦政府资助的美国橡树岭国家实验室（Oak Ridge National Laboratory）和美国能源部阿贡国家实验室（Argonne National Laboratory），以及位于桑迪亚实验室（Sandia Labs）和洛斯阿拉莫斯实验室（Los Alamos）的新的研究中心。此外，一些高校已经意识到，那些已经或正在兴建的纳米项目都需要用到CCP。在高校中，将这些洁净室加入到项目中，并不一定就要致力于纳米科学项目，你还可以从中获得更多。作者提到了在加州大学洛杉矶分校、休斯顿大学、美国刘易斯维尔大学，以及其它的许多大学一些项目。

      设备制造商为了支撑微电子产业而新建的洁净室已经越来越少，通常一些补充和修改的CCP表格会在那些地方应用。清洁建设技术没有在美国大范围地应用，主要是因为它根本就没有用武之地。但它已经被广泛应用在海外的工业设施，特别是在一些非常大的为世界提供代工服务的晶圆厂。他们所致力发展的清洁建设技术通常比美国更为严格。

      谁来提供服务？

      如果CCP是必要的，而你又想将它应用到你的洁净室项目中，你可以在哪获取相关建议呢？答案是，所有具有大型洁净室项目设计和施工经验的大工程建筑公司都能给你建议。即使他们开始时用于确定一个适当协议的办法和引导规则略有不同，但过程的相似程度还是令人惊讶的。这是因为，多年来，他们都汲取了教训，知道什么可行，什么不可行。不要对建筑师太苛求，我有很多朋友都从事建筑业，但是许多建筑公司并不具有这方面的专业技术。他们常常依赖实验室的设计顾问，设计顾问通常也不具备这方面专长，但是他们一般都知道怎么去获取相关信息。

      我们可以从洁净卫生服务公司那里获得一些执行CCP的相关帮助，虽然得到的帮助并不是我们想象的那么多。这是因为当执行一个建设项目时，一般都由洁净卫生分包公司负责洁净卫生方面事宜。这些公司的管理层看到了提供这些服务的机会，他们会提供一份预先准备好的适合该项目的恰当协议，并且他们能将这些服务做得很好。但也有少数例外，这在后面将会讲到。对于大型制造业公司，尤其是在半导体产业，他们经历过多个洁净室项目，一般都具有这方面的专家。这些专家都知道这方面有那些要求，他们都有这方面的建设经验，而且他们也会制定相关的技术说明。然而，即使在这种情况下，他们还经常依靠分包公司来履行这些工作，并频繁的进行严格的培训。

      

      最后，还有一个专门的机构，叫特约顾问团。该机构的一些专业人士都曾有过重大项目的经验，由于微电子厂建设步伐的放缓，他们开始从事顾问工作。遗憾的是，并没有足够多的工作让每个人都忙起来；他们中的一些人已经退休了,要找到他们可不是一件容易的事情。例如，那曾经兴盛一时的、最大的、独立提供这些服务的公司，现在已倒闭了。

      高纯度管道的特殊案例

      在安装高纯度管道时，无论是用于气体还是液体，都需要特别的注意。因为单独使用标准的空气污染控制措施，无法有效保证该管道可以用于无污染流体。虽然大多数管道分包商都深谙如何安装电解抛光不锈钢，PVDF和用于氧气输送的洁净铜管系统，但总承包商和施工管理层往往并不了解这些技术。因此，他们通常会花钱请可以提供测试服务的第三方，来做高纯度管道的质量控制，以保证纯度。

      洁净室认证

      最后一个接手洁净室项目的专业承包商是认证机构。它必须是一家合格的专业机构，而且它的工作人员不仅要详尽的了解所用到的精密的测试设备，还要有发现建设过程中常见错误的经验。如果该机构是第三承包商就更好了，它可以把验证的结果直接报告给主办方，而不是主承包商。这样的话，就可以使很多暗箱操作问题得到妥善解决。认证方的作用就是确保结果值得信赖。从这方面来讲，该机构的认证报告只有证实设施设计的正确性才能受到设计公司的欢迎；只有证明建设预期已经被正确执行，才能受到主承包商和所有分包商的欢迎；只有证实主办方已经得到了他们想得到的才能受到主办方的欢迎。

      为及时发现并纠正洁净室空气过滤系统的渗漏，认证机构必须不断地对过滤器进行检测。渗漏总是存在，这就意味着，为了能够确保检测到渗漏并修复它，必须在过滤器的上游侧引入高浓度的粒子。由于CCP已经成熟，而测试材料的选择也已经有了显着改善，曾经有人提议用周围的空气作为测试材料。他们认为过滤器上游的空气已经足够脏，可以满足粒子浓度达到数百万粒子/立方英尺的要求。但洁净建设项目已不再有这样的问题了。传统的测试材料邻苯二甲酸二辛酯(DOP)是一种极微细的气溶胶雾状物，效果非常好。但是，它有危险的负作用，因为它会在很多年里不停地释放气体。因此，它很少用于微电子设备，也绝不能用于那些有用到光敏感面材料的洁净室。目前，过滤器的测试材料选择的是聚苯乙烯胶乳(PSL)，也是一种气溶胶物，由微小的塑料颗粒组成，也可以作为校准颗粒计数器的材料。它不会像DOP那样有不断释放气体的危险。|||认证机构除了会对洁净室的过滤器和所有机械系统进行严格的测试外，还常常会提供一些意想不到的赠品。由于它处于整个项目的末端，工程进度和费用压力常常是一个因素，所以很受欢迎。由于专业认证人员有过很多洁净室项目的经验，碰到过各种难以想象的问题。所以，他们知道最后一个人做了些什么解决的问题。此外，他们还会努力使你的洁净室项目获得成功，因为只有洁净室项目成功后，他们的工作才算完成。所以认证机构通常是帮你渡过是最后一道难关的最好朋友, 也是你想象不到的最好的顾问。

      CCP的成本和好处

      对于CCP来说，底线就是底线。为什么要尽量买CCP呢？CCP的唯一目的就是给投资者信心，让他们相信洁净室很快就会启用，会如他们所期待的那样运转，而且他们很快就能从这个投资上获得回报。而且还可以保证没有潜在的危险，将来不会回来再找你麻烦。对于一个良好的洁净建筑项目来说，你会知道一切尽在掌控之中，因为在把所有的东西都整合在一起之前，你已经对各个部分进行了彻底的检查。

      这就是CCP的优点。当然，它也是需要成本的。如果处理得当，这些成本和整个项目的费用比起来实在是微不足道。通常情况下，直接成本还不到整个项目费用的1%。尽管这笔费用可能需要包括在项目期间购买大量的手套、鞋子和粘尘垫等物品，但这只占成本的很小一部分。大部分还是用于人力方面。很明显，需要有人力不断提供卫生清洁服务。还需要有一个专业人士作为CCP经理，他不仅要知道如何处理污染控制问题，还要懂得施工。有一些关于洁净建设成本的说法。其中一个是，CCP对生产率有巨大的影响。尽管穿上遮阳帽、手套，擦拭设备和材料确实需要花费一点时间，但它不会使工期延长5％以上。虽然我不知道该如何去证明这一点，但我深信一个典型的洁净建设项目会比一般的项目具有更高的生产率。这是因为施工项目经理会被迫制定出比平时更好的活动计划。毕竟，计划才是CCP的最主要的组成部分。

      洁净建设就像一句格言所说的：付出多少，你就会得到多少。也许举个例子更能说明问题。最近，作者偶然参与到了一个重大的纳米科技项目中，解决其中的一个问题。该项目已经顺利起步，由一个受人尊敬的设计公司和一个同样受尊重的建筑公司合资。协议规范做得不错，非常适合该项目。在参观现场的过程中，以前从未曾亲自参与洁净建设项目的施工主管向我抱怨，认为刚开始的洁净室工作部份没有朝着它应该走的方向前进。在被允许参观项目之前，我参加了强制性的CCP培训。而在这个培训课上，我已经感觉到这个问题了。培训这一部份内容的老师向我们强调了所有不能做的事情。所有的这些都是负面的。但她并没有告诉我们为什么要有这些限制。这是因为老师以及指定的CCP的经理自己也不知道为什么<