首届洁净云论坛会后报告

美国等西方国家限制对华高端半导体技术、产品、设备出口，在一定时间内产能和技术受到影响。随着疫情的逐步缓解，5G、人工智能、无人驾驶、云计算、物联网等新技术的迅猛发展和广泛应用，带动相关行业的复苏和迅速发展。中国是全球最大的电子产品生产基地，集成电路产业保持增速全球领先的势头。中国已经成为全球半导体供应链中不可缺少的一环。5G时代的到来，将带动半导体产业的发展。

随着摩尔定律演进的技术难度和投资规模不断提高，半导体行业正越来越依赖于封装技术的发展。12纳米、7纳米、5纳米工艺逐步演进，未来的高峰在以3纳米为目标的芯粒间互联IP。

摩尔定律能否延缓？作为半导体发展技术支撑的洁净技术现状如何？发展趋势是怎样？

2022开年， 杂志首开洁净技术云论坛-半导体洁净技术专场，围绕半导体热点话题展开研讨。

研讨会于2022年1月18日成功举办。论坛活动指导机构是上海市制冷学会，由雅时国际商讯/ 杂志主办。论坛由 项目总监/ 杂志编辑张彦雯主持。

论坛主题围绕《十四五洁净室及相关受控环境国家标准展望》、《迎接挑战：半导体工厂洁净室现状与发展》、《半导体工厂洁净室空调能耗分析》、《5纳米时代的静电与微污染控制》、《实验室运行管控》等展开，中国标准化协会/全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会秘书长杨子强、中国电子工程设计院副总工程师秦学礼、上海防静电工业协会会长黄建华、上海中增科教仪器有限公司总经理任宏达分别做了专场报告。

国字头专家、国字头的报告，吸引了全国各地及至国外听众近300人报名听会。

论坛开始连线香港，主办单位ACT雅时国际商讯总裁/洁净室杂志社出版总监麦协林致开幕词，他对各地到来的听众表示真挚的欢迎，希望通过论坛使参会听众能得到专业的提升和信息政策的了解，指导自己的发展。

 上海市制冷学会暖通空调专委会主任、同济大学教授李峥嵘代表指导机构致词，对新年开始即举办发展聚焦点的科技论坛表示祝贺和称赞，她希望 杂志能像过去20多年那样一如既往的发挥技术引领和行业合作平台的作用，尤其在当下，更好地发挥流媒体的强大功能，为行业发展不断做出新的成绩。李主任并介绍了成立已40多年的上海市制冷学会及工作功能。

论坛演讲报告13：45分开始，第一场杨子强秘书长的报告《十四五洁净室及相关受控环境国家标准展望》，结合国内外洁净室及相关受控环境技术的应用发展，解析规划了我国未来5年洁净室及相关受控环境国家标准工作的战略、方针和计划。报告对洁净行业从业人员明晰发展方向，对企业管理者理清发展思路，坚定发展目标提供了思想准备和发展动力。

中国电子工程设计院副总工程师秦学礼是我国微电子行业的带头人级别的专家，主办方请他做了2场报告，在《迎接挑战：半导体工厂洁净室现状与发展》报告中，秦总分析了半导体的分类及发展现状，介绍了半导体发展对洁净室布局的影响。

在《半导体工厂洁净室空调能耗分析》报告中，秦总详细分析了洁净室的核心技术的净化空调系统的形式，强调EUV对温湿度需求同DUV光刻机，分析了随着光刻线宽减小，FFU的变化，“双碳”目标对净化空调系统的影响，半导体工厂洁净室未来可能采用节能技术，包括热回收，减少MAU再热，减少洁净空间等方法。对防微振等其他系统的影响，对排风系统的影响。接着杨秘的报告，秦总还特别介绍了新规范对洁净室建造的挑战。

第三场黄建华关于《5纳米时代的静电与微污染控制》的报告，分析了静电对芯片生产的影响，强调静电场足以使芯片产生永久损伤，智能制造的发展，使得控制CDM模型和孤立导体放电成为人们关注的重点。传统的抗静电剂是洁净室中空气分子污染的主要污染源。非迁移、非湿度依赖的防静电产品将成为5纳米时代静电与微污染控制的首选。

第4场任宏达所作的《实验室运行管控》报告，则面对高新产业的发展和疫情防控的需求，实验室建造需求旺盛，建造技术提升，成为大步发展的行业的形势，提出实验室规划设计与建设，要有装配式、绿建、智能化、数字化的理念，实现实验室的升级换代，实验室也要3.0，也要4.0。

各场专家的报告，都引起听众的围观提问，而秦总报告的技术硬核内容引得听众提问不断。演讲专家强，听众的专业度也不差，提的问题大都需要大篇幅讲解才能回答完善。而因一个下午4场报告时间已排的很慢，所以每场报告只给2个提问机会，面对扎堆提问，主持人只能选其中可以比较简单快速回答的问题提交专家解答。

听众提问有：

标准化协会可以提供ISO14644的标准培训服务吗？

目前较权威的洁净厂房的等级检测仪器是哪家？

标准太多了，执行起来困难多多？

杨老师，听你说洁净室底层设计基础很重要，我是做MeMs工作。需要重新建造六寸净化工艺厂房。您有什么好的建议吗

目前有没有洁净室检测及标准化相关的国家级或行业级的培训和考试?
请问10万级洁净技术除了颗粒、微生物、空气压差、温湿度外还有其它要求？

生产在3层，微振动如何解决；国内有没有ISO Class 1的洁净室？

新厂房建设洁净室规划，应注意哪些细节

如果两条工艺线平行建设如何布局能做大最大利用率(包括场务和匹配)

为什么要远离高铁

防静电树脂板材用于半导体洁净室隔断的一些应用要求

目前洁净室内的防静电产品安装的标准有吗

洁净室内生产药品要做防静电措施，用离子化静电消除产品，在安装上有行业标准吗？

实验室建设1000平ISO Class 1 能不能不建设那么高，仅仅在1楼完成？

为何排风点要引入外界新的空气，而不是环境内部空气。岂不是增加了引入新污染的可能性

对于纷纷提问，主持人公告大家，没能在会上作答的提问将在会后分别提交专家做解答，然后在洁净室公众微信群中发出，供大家学习提高。

半天的论坛从13：30开始，直到17：20报告结束后，还有很多听众留在会场进行互动交流。

 从提交截止于17：21的70份听众调查问卷反馈信息中了解到，很多听众希望这样的论坛多举办，“办的很好，建议增加举办频率”“建议多多开展”“继续这样蛮好的”“有就参加”“很好，学习”……。

据统计，本次会议报名听众来自芯片制造、晶圆生产、封装测试、元器件生产，洁净室运行管控、产线、质管工程师和管理者，及洁净室设计、建造，设备、检测、防静电、实验室工程师和管理者，洁净室上下游齐聚互动。

您的主要工作是什么? 

  您所在公司在制造方面的主要业务

 工程师和管理者们在赞会的同时，提出了很多议题建议：

A、下次能否有应用项目报告：

能否有实际应用项目作为讲演参考

结合实际洁净室项目案例进行讲解

洁净室的设计、施工、运营管理

洁净室总体造价，工艺怎么合理设计，满足国家低碳节能

高等级的洁净室设计运行管理

B、通过会议了解了洁净室的相关需求

洁净室管理与改善洁净度

详细的洁净室检测和监测仪器和方法探讨

洁净室颗粒、温度和湿度的影响因素

标准与行业实际的发展与反馈

洁净室建造和维护

一级 十级洁净室设计建设案例介绍

工艺布局

洁净设备设计

C、洁净室应用

洁净室运行中及实施中的技术

半导体洁净室的维护

D、晶圆级测试等

洁净室检测技术及仪器发展

洁净监控和检测数据实时分析

洁净室空气消毒

净化耗材细分化

洁净室净化服的材质以及寿命

E、新技术

增加先进工艺和先进产品的介绍

希望能更多的了解汽车/医疗/传感器行业标准要求

洁净室的发展趋势

重点是：

提问的机会及时间要增加，索要专家联系方式和报告PPT,争取线下会议，可与专家充分现场交流……

可以多些相关的交流和培训，提供更多的学习交流平台，推广更多一些，若有可能多举办几次，最好晚上，白天上班，最好安排在周末。

下次我们想参加

面对各种需求，主办方正酝酿与各方专家商议开设系列课程，把最新技术、管理要点的知识做一个系统讲解，并留出时间给学员提问和详细解答，通过课程解答建设、管理各类问题，并可一对一帮助解决痛点问题，提高工程师质管师的专业水平和管理能力。学员可以全修、选修，满足不同提升需求。

会议的最后，主持人/洁净室项目总监/ 杂志管理编辑张彦雯介绍了 今年全年活动计划：

2022年论坛会议：

1月18日 首届洁净云论坛（半导体洁净技术专场）

3月 洁净云论坛（待定）

6月（ACT智造大会STCon）--- 洁净室研讨论暨产品展示—半导体洁净技术论坛，苏州金鸡湖，8本杂志10场报告，2000人到会，近200家产品展示

6月21-23日 EP&Clean Tech China2022 暨生物制药洁净技术论坛(6月22日，上海，新国际博览中心

8月 制药洁净技术主题沙龙活动，地点苏州四季酒店

9月28日 洁净技术大会(综合主题-半导体&生物制药) 上海浦江智谷，一年一度的洁净技术大会。

10月12日-14日 中国国际全触与显示展/洁净室研讨论暨产品展示—华南洁净关键。（待定）

12月 洁净云论坛（主题待定）

2022年媒体合作展会

2022年3月23-25日SEMI CON/FPD CHINA2022全球最大的半导体产业盛会

上海新国际博览中心

2022.03.23-03.25上海 慕尼黑上海电子生产设备展上海新国际博览中心

04月20日 -04月22日 第三十一届中国国际电子生产设备暨微电子工业展览会 上海世博展览馆

5月6日-8日上海 慕尼黑上海电子展 上海新国际博览中心

5月20日-22日2021第七届亚太洁净技术与设备展览会 广州中国国际商品进出口商品交易会

5月21日-23日CHCC2021第23届CHCC全国医院建设大会暨中国国际医院建设、装备及管理展览会 武汉国际博览中心

6月21-23日CPhI & P-MEC China第二十一届世界制药原料中国展第十六届世界制药机械、包装设备与材料中国展/EP&Clena Tech China 2021制药环保与洁净技术展暨生物制药洁净技术论坛(6月22日），上海，新国际博览中心

8月31日至9月2日2022Medtec中国展暨第十七届国际医疗器械设计与制造技术展览会 上海世博展览馆

10月12日-14日中国国际全触与显示展C-TOUCH&DISPLAY 深圳国际会展中心

上海IC CHINA2021第四届全球IC企业家大会暨第十九届中国国际半导体博览会

其他活动有专业培训、技术咨询、沙龙交流、新品展示、参观走访等。

 本次会议获得各方好评，会上及会后各种互动纷至沓来，有需要建造洁净室、实验室的，有需要改建增建洁净室的，有需要洁净、防静电产品的，有要想借洁净室这个平台推广新产品新工艺的，有希望专家开设相应课程的……。主办方会后分别进行了接待、对接、联系等，努力通过这个行业上下游互动的平台为各方做好服务，促进行业的快速发展。

                                                                                           ( 编辑张彦雯)