保障半导体百级洁净室可靠运行

在半导体、光电面板的制造过程中，被加工件的导电性能会被环境中的金属离子破坏掉，洁净室可避免这种情况的发生。 洁净室的运营条件苛刻且复杂，不仅需将空气中的微粒子、有害气体、有机质等污染物进行排除，更需通过连续的控制手段将影响室内环境的各项指标维持在标准数值内。洁净室依据洁净程度，可划分为零级、十级、百级、千级、万级乃至十万级、三十万级，其中数值越低，代表洁净室的等级越高。不同等级的洁净室有不同的控制标准，以百级洁净室为例：

影响洁净室是否达到等级标准的因素很多，如空调系统、新风系统的送风温湿度、送风静压，新干盘管内的回风道温度，冰水系统、热水系统的水泵运行状态，水管阀门的开度等，都会影响区域内的温度、湿度和压差。

因此，一套可严密监控环境指标变化和控制相关设备的监控系统不可或缺。

针对光电面板厂商新建工厂时的百级洁净室运营要求，台达结合在绿色厂务上的经验，提供从建设到实施的一套完美监控所有公辅系统的解决方案，对洁净室的安全运营提供保障。

鉴于百级洁净室的高标准要求，在运营阶段承载运营管理重任的监控系统同样有着高标准，必须从开始建设阶段即着手介入，整体过程要充分结合制程工艺的需求特点，因此十分考验施工单位的全面能力。

需提供从现场诊断、方案规划、工程设计到项目执行、保障服务等的支持。

案例：全套解决方案

全功能型工业组态软件VTScada设计主监控系统，精准布局监控

点位，监测洁净室内各项指标数值，联动上位管理系统，联动冰水机组、冷却水泵、热水泵、空压机、纯水等系统，保证百级洁净室呈现预想效果。

工业以太网交换机构建冗余网络，将公辅系统各类设备整合链接到监控系统中，确保数据信息的及时准确。

冗余型PLC AH500搭载变频器DPD，组成冗余控制系统，实现对空调系统、冷却水塔等第三方系统的数据与流量调节；联动主监控系统，进行精密控制，为洁净室的调温、调湿等提供精细化控制。

智能电表，实时监控电力消耗数据。方案中，台达冗余型PLC、工业以太网交换机和组态软件，形成软件、硬件、网络三冗余控制，严格确保系统的稳定运行。

效益实现：百级洁净室良性运营

运行状态实现严格管理

·实现完整监控

洁净室内温湿度、气压等关键数据实时监控。

 ·联动第三方设备

各类公辅系统及时联动，统一管理，调节方便，故障处理及时。

 ·精准调节控制

监控系统根据洁净室内各项指标数据，对相关公辅设备进行开度调节，使室内的温湿度变化、气压压差、供水量以及灰尘含有量指标高于百级洁净室要求。

以温度变化为例，当监控系统检测到区域内温度变化达到临界值，即可根据外界温湿度及空调、空压、热水等系统的输送量数值，联动PLC调节相应设备的开度，保持室内温度始终稳定于预定值。

数据实时监测、便捷呈现

·运行状况快速查询

可查询各区域传感器组中温度、湿度、水压力等环境条件的最大值、最小值、平均值及画面。

·报表实施导出

可自动检测时区，根据时间设定触发自动汇出报表，输出至屏幕、工作表、数据库或电子邮件。

·能源数据监测呈现

统计能源数据，呈现历史数据对比、碳排放统计、能源趋势分析、能源分布与排名、不同能源的折算对比图表等。

·故障报警

故障问题通过闪烁图示，以及置短信、电子邮件、呼叫器和语音留言等方式及时通知操作人员。

该百级洁净室解决方案，以“数字化”为链条，通过完善的监控体系，实现对百级洁净室的运营管理，助力用户稳定生产，达成良率目标。

                                                                             （台达）